| 摘要 |
<p>일 양태에 따르면, 본 발명은 제어형 마이크로 구조 뿐만 아니라 결정학적 텍스처를 가진 다결정막을 제공하기 위한 방법을 제공한다. 이 방법은 특정 결정 방위의 연장된 입자 또는 단결정 섬을 제공한다. 특히, 기판 상의 막을 처리하는 방법은 결정 입자가 바람직한 하나의 결정 방위로 배향되어 있는 텍스처링된 막을 발생시키는 단계; 및 다음으로, 바람직한 결정 방위로 배향된 입자의 위치-제어형 성장을 제공하는 순차적 측면 고상화(sequential lateral solidification) 결정화를 사용해 마이크로 구조를 발생시키는 단계를 포함한다.</p> |
