发明名称 HANDLER FOR FILM-TYPE CHIP
摘要 <p>본 발명이 해결하려는 과제는 가압부의 동작시에 공급측과 수용측에 동일한 장력이 발생하도록 조절하여 가압부에 위치하는 필름형 칩의 위치 변화를 방지하기 위한 필름형 칩용 핸들러를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필름형 칩용 핸들러는, 공급부에서 공급받은 필름형 칩을 가압부로 이송하며, 상기 가압부의 동작상태에 따른 상기 필름형 칩의 이동을 보상하여 공급측의 장력을 조절하는 공급측장력조절부; 및 상기 가압부에서 검사가 완료된 필름형 칩을 수용부로 이송하며, 상기 가압부의 동작상태에 따른 상기 필름형 칩의 이동을 보상하여 수용측 장력이 상기 공급측 장력과 동일하도록 조절하는 수용측장력조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 가압부의 동작에 따라 필름형 칩이 이동하는 길이만큼을 공급측장력조절부와 수용측장력조절부에서 보상하므로, 가압부의 동작시에 공급측과 수용측에 동일한 장력이 발생하게 되어 공급측장력조절부에서 가압부로 이송되는 필름형 칩의 길이와 수용측장력조절부에서 가압부로 이송되는 필름형 칩의 길이가 동일하게 된다. 즉, 공급측장력조절부와 수용측장력조절부에서 가압부로 이송되는 필름형 칩의 길이가 동일하므로, 가압부의 동작에 따라 상하로 움직이는 필름형 칩의 평면상 위치변화가 발생하지 않는 장점이 있다.</p>
申请公布号 KR101212359(B1) 申请公布日期 2012.12.13
申请号 KR20110052838 申请日期 2011.06.01
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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