| 摘要 |
<p>서스펜더를 가지는 나노구조체의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 서스펜더를 가지는 나노구조체의 제조방법은, 기판 상부를 식각하고, 기판의 식각부에 제1재료를 증착하여 기판 내부에 하부전극을 형성하는 하부전극형성단계; 하부전극과 기판이 형성하는 평평한 상면에 제2재료를 증착하거나 올려놓아 서스펜더를 형성하는 서스펜더형성단계; 하부전극과, 하부전극 상부에 접속된 서스펜더 단부의 상면에 제3재료를 증착하여 상부전극을 형성하는 상부전극형성단계; 및 서스펜더가 기판 상측에 서스펜드(suspend)된 형상을 가지도록 서스펜더 하측의 기판의 상부를 식각하는 서스펜딩단계;를 포함한다.</p> |
