高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统和工艺

摘要

本发明涉及气体充装技术领域，具体地说是一种高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统和工艺，包括汽化器和气体充装汇流排。本发明同现有技术相比，在汽化器与气体充装汇流排之间增设纯化系统，使高纯气体能够进行纯化，从而避免了由于原料液态气中微量氧含量超标而导致高纯气体不合格的问题；本发明采用氮气和氢气对纯化系统进行再生，使纯化系统可以在原地进行再生工艺，也满足了高纯气体大流量生产的需求。

主权项

一种高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统，包括汽化器和气体充装汇流排，其特征在于：汽化器（3）的输出端分别与高压截止阀一（5）的一端以及高压旁通阀（8）的一端连接，高压截止阀一（5）的另一端与单向阀（6）的输入端连接，单向阀（6）的输出端分别与再生排放阀（9）以及脱氧脱水塔（14）的一端连接，脱氧脱水塔（14）的另一端分别与再生进气阀（10）以及高压过滤器（11）的一端连接，高压过滤器（11）的另一端与背压阀（12）的一端连接，背压阀（12）的另一端分别与压力表（13）以及高压截止阀二（7）的一端连接，高压截止阀二（7）的另一端分别与高压旁通阀（8）的另一端以及气体充装汇流排（4）的输入端连接。