一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法

摘要

一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法，通过实验或理论方法，获得高真空镀膜机中大口径球面光学元件单层膜厚度均匀性修正挡板形状；利用修正挡板修正增透膜中每一层薄膜厚度均匀性，在球面光学元件上按照膜系设计要求沉积厚度均匀分布的高、低折射率介质层制备增透膜；通过在干燥大气环境中利用紫外光辐照大口径球面光学元件，获得透射率均匀分布的增透膜。本发明可以提高大口径球面光学元件，特别是大口径/曲率半径比球面光学元件表面增透膜及其他膜系透射光谱特征的均匀性。

主权项

一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法，其特征在于实现步骤如下：（1）通过设计高真空镀膜机行星转动夹具上大口径球面光学元件上镀膜需要的薄膜厚度均匀性修正挡板，使沉积在大口径球面光学元件上的单层薄膜厚度均匀性接近100%；所述步骤（1）中薄膜厚度均匀性修正挡板形状通过如下方法确定，通过设计与大口径球面光学元件形状相同的金属夹具，并在所述金属夹具上沿径向等间距分布直径25mm或25.4mm的小孔，所述小孔中安装镀膜测试片；镀膜时大口径球面光学元件以及与大口径球面光学元件形状相同的金属夹具位于高真空镀膜机行星转动夹具的中心位置，测量沉积在镀膜测试片上的薄膜厚度，以此计算径向薄膜厚度均匀性；反复修改薄膜厚度均匀性修正挡板形状，使薄膜厚度均匀性接近100%；（2）通过在高真空镀膜机中使用薄膜厚度均匀性修正挡板分别修正高、低折射率介质层薄膜厚度均匀性，按照增透膜膜系设计要求，沉积厚度确定的高、低折射率介质层制备增透膜；（3）通过在干燥大气环境中利用紫外光辐照大口径球面光学元件，获得透射率均匀分布的增透膜；紫外辐照通过影响增透膜的微观结构，减缓薄膜对水分子及有机分子、分子基团的吸附，使大口径球面光学元件表面透射率提高并均匀分布。