三波长干涉调制器及调制方法

摘要

本发明提供一种三波长干涉调制器及调制方法，其中，三波长干涉调制器(100)包括：静置基板(200)，顶部形成有底电极板(210)；第一电极板(110)，包括平行悬设于所述静置基板(200)上方的第一悬梁部及电连接于所述静置基板(200)上的第一连接部；第二电极板(120)，包括平行悬设于所述第一电极板(110)上方的第二悬梁部及电连接于所述静置基板(200)上的第二连接部。本发明所述干涉调制器及干涉调制方法采用选择性相消干涉的方式实现了对入射光的脉冲宽度调制，有利于控制算法的数字化和复合波长调制的整合以及对宽角入射光实现有效的调制，因此适用于投影系统。

主权项

一种三波长干涉调制器(100)，其特征在于包括：静置基板(200)，顶部形成有底电极板(210)；第一电极板(110)，包括平行悬设于所述静置基板(200)上方的第一悬梁部及电连接于所述静置基板(200)上的第一连接部；第二电极板(120)，包括平行悬设于所述第一电极板(110)上方的第二悬梁部及电连接于所述静置基板(200)上的第二连接部；其中，所述静置基板(200)内部进一步设置有驱动电路(220)，用于分别向所述底电极板(210)、所述第一电极板(110)及第二电极板(120)提供静电电荷，使所述第一悬梁部与所述第二悬梁部之间在不同时间段内分别保持放松距离(22)、拉拢距离(21)及拉分距离(23)；所述拉拢距离(21)用于使穿过所述第二电极板(120)的入射光(10)中的第一波长(91)的光发生选择性相消干涉；所述放松距离(22)用于使所述入射光(10)中的第二波长(92)的光发生选择性相消干涉；所述拉分距离(23)用于使所述入射光(10)中的第三波长(93)的光发生选择性相消干涉，其中，所述第二电极板(120)进一步包括带通过滤器(127)，用于对所述入射光(10)进行带通滤波，使得穿过所述第二电极板(120)的光中仅包含第一波长(91)的光、第二波长(92)的光、及第三波长(93)的光。