一种基于介质阻挡电晕放电等离子体处理废气的装置

摘要

本发明公开了一种基于介质阻挡电晕放电等离子体处理废气的装置，包括密封的壳体，壳体内分隔成气体缓冲腔和处理腔，壳体上分别开设有与气体缓冲腔相连通的入口，与处理腔相连通的出口；气体缓冲腔由壳体底部与接地集成板构成，接地集成板上开设有多个气体通孔；处理腔由接地集成板与集成板构成，集成板的上下两侧均设有绝缘板；集成板上设有阵列式分布的放电单元。本发明利用缓冲腔降低气体进入等离子体区的速度，以达到在处理腔中充分与等离子体反应，提高处理效率；而采用阵列式的放电结构，大大增加了有效处理面积。

主权项

一种基于介质阻挡电晕放电等离子体处理废气的装置，其特征在于，包括密封的壳体，壳体内分隔成气体缓冲腔（4）和处理腔（8），壳体上分别开设有与气体缓冲腔（4）相连通的气体入口（9），与处理腔（8）相连通的气体出口（10）；气体缓冲腔（4）由壳体底部与接地集成板（3）构成，接地集成板（3）上开设有多个气体通孔；处理腔（8）由接地集成板（3）与集成板（2）构成，集成板（2）的上下两侧设有绝缘板（1）；集成板（2）上设有呈阵列式分布的放电单元；每个放电单元由内而外包括高压电极（5）、阻挡介质（7）和接地筛网电极（6），三者紧密贴合，高压电极（5）的上端与集成板（2）固定连接，下端绝缘封装，接地筛网电极（6）与接地集成板（3）相连接；集成板（2）与高压交流电源相连接。