| 摘要 |
<p>본 발명은 멤스 센서 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 멤스 센서의 밀봉 효과를 최대화하며, 상부 글라스 내에 상부 공동 전극을 형성함으로써 멤스 센서의 내부와 외부의 전기적 연결이 우수한 멤스 센서의 웨이퍼 레벨 패키지를 제공하는 기술이다. 본 발명에 따른 멤스 센서 웨이퍼 레벨 패키지 제조 방법은 하부 글라스 및 상부 글라스 상부에 각각 하부 공동 전극 및 상부 공동 전극을 형성하는 단계와, 상부 글라스 내에 비아홀을 형성하는 단계와, 하부 글라스 상부에 멤스 구조물을 형성하는 단계와, 하부 글라스 상부의 가장자리에 외곽 프레임을 형성하는 단계와, 외곽 프레임 상부에 상기 상부 글라스를 본딩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
