硅板舟

摘要

硅板舟。涉及对硅板舟的改进。提供了一种能够保证硅片在进出炉时不歪斜、有效地固定硅片位置的硅板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，所述插棒四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体上，所述处于对角的两插棒内侧之间的距离等于所述硅片的直径。本实用新型在原来扩散板舟的基础上对插棒位置进行调整，避免了之前采用共用插棒的硅板舟，每叠硅片均采用一个限位单元来固定，使得每叠硅片都能很好地固定，在扩散过程中能够均匀地受热，使得杂质能够均匀扩散，确保产品质量的一致性；插孔和插棒采用锥形连接，保证了连接的可靠性。本实用新型结构简单，提高了生产效率。

主权项

硅板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，其特征在于，所述插棒四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体上，所述处于对角的两插棒内侧之间的距离等于所述硅片的直径。