刻划方法、金刚石尖头、及刻划装置

摘要

本发明提供一种可在脆性材料衬底上形成良好的划线的刻划方法及用于该刻划方法的金刚石尖头，进而提供一种包含该金刚石尖头的刻划装置。金刚石尖头是通过相对脆性材料衬底(4)被移动而在脆性材料衬底(4)上形成划线的刀具(tool)。金刚石尖头的刃部(61)呈四棱锥台状，且主要包含前端面(64)、多个(本实施方式为4个)斜面(65(65a～65d))、及多个圆角面(67(67a～67d))。而且，刃部(61)的各棱线(66)包含2个邻接斜面(65)的交线即直线部(68)、及位于和该邻接斜面(65)的各个连接的圆角面(67)上且连接于直线部(68)及前端面(64)的曲线部(69)。

主权项

一种刻划方法，其利用具备包含金刚石内含物的刃部的刀具在脆性材料衬底上形成划线，且其特征在于包括如下步骤：(a)通过使所述刃部和所述脆性材料衬底接触，而自所述刀具对所述脆性材料衬底施力；(b)在使所述刀具的所述刃部和所述脆性材料衬底接触的状态下，使所述刀具相对于所述脆性材料衬底进行相对移动，由此在所述脆性材料衬底上形成划线；所述刃部的外表面具有曲面形状的圆角面，且在所述步骤(a)中，通过使所述圆角面和所述脆性材料衬底接触，而自所述刀具对所述脆性材料衬底施力，在所述步骤(b)中，保持着所述圆角面向下凸出的状态，使所述刀具相对于所述脆性材料衬底进行相对移动。