| 发明名称 | 处理装置和处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种处理装置和处理方法。分散器（10）通过例如在处理期间或在处理完成之后向DLC-Si膜（30）补给水分（33）而在DLC-Si膜（30）的表面层上再生水分吸附层（32）。 | ||
| 申请公布号 | CN102806033A | 申请公布日期 | 2012.12.05 |
| 申请号 | CN201210179200.9 | 申请日期 | 2012.06.01 |
| 申请人 | 丰田自动车株式会社 | 发明人 | 河野贵志 |
| 分类号 | B01F7/16(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I;H01M4/04(2006.01)I | 主分类号 | B01F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 马江立;厉锦 |
| 主权项 | 一种处理装置，所述处理装置包括：容器（11）；金属部件（12，13），所述金属部件配置在所述容器内并且所述金属部件在其表面上涂覆有含硅类金刚石碳（DLC‑Si）膜；和水分补给单元（19），所述水分补给单元为所述DLC‑Si膜补给水分以便在所述DLC‑Si膜的表面层上再生水分吸附层（31）。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||