| 摘要 |
<p>본 발명은 태양전지용 기판 구조체를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 유리기판 위에 실리콘산화막을 형성하는 단계와, 실리콘 산화막 위에 붕소가 첨가된 비정질 실리콘을 증착하여 제1P형 실리콘박막층을 형성하는 단계와, 제1P형 실리콘박막층 위에 제1P형 실리콘박막층 보다 낮은 농도의 붕소가 첨가된 비정질 실리콘을 증착하여 제2P형 실리콘박막층을 형성하는 단계와, 제2P형 실리콘박막층의 표면에 전자빔을 조사하여 결정화하는 단계를 포함한다. 이러한 태양 전지용 기판 구조체 제조방법에 의하면, 벌크형 태양전지와 같은 에너지 변환효율을 얻을 수 있으면서도 벌크형 태양전지에 비해 이온주입공정이 요구되지 않고, 고온의 장시간 어닐링 공정시 발생되는 부산물인 산화막의 제거가 요구되지 않으면서도 대면적화 할 수 있는 장점을 제공한다. 또한, 금속유도 결정화 방식에 비해 잔류 금속제거공정이 요구되지 않고, 공정시간이 현저히 단축되며, 금속층 제거공정이 요구되지 않아 공정이 단순화 되는 장점을 제공한다.</p> |
