| 摘要 |
Ein System zum Bilden hochwertigen Siliziummaterials, zum Beispiel Polysilizium. In einem bestimmten Ausführungsbeispiel umfasst das geschmolzene Material ein Siliziummaterial und eine Verunreinigung, zum Beispiel eine Phosphorspezies. Das System umfasst einen Schmelztiegel, der eine innere Region aufweist. In einem bestimmten Ausführungsbeispiel ist der Schmelztiegel aus einem geeigneten Material, so wie ein Quarzmaterial oder andere, hergestellt. Das Quarzmaterial ist in der Lage, einer Temperatur von wenigstens 1400°C zu widerstehen, um Silizium zu verarbeiten. In einem bestimmten Ausführungsbeispiel ist der Schmelztiegel in einer aufrechten Position konfiguriert und hat eine offene Region, um geschmolzenes Material zu entblößen. In einem bestimmten Ausführungsbeispiel weist das vorliegequelle kann eine Bogenheizung oder eine andere geeignete Heizungseinrichtung sein, einschließlich mehrerer Heizungseinrichtungen, die gleich oder unterschiedlich sein können. Die Bogenheizung ist über der offenen Region konfiguriert und durch einen Spalt zwischen dem entblößten geschmolzenen Material und einer Mündungsregion der Bogenheizung getrennt angeordnet, um Bilden eines vorbestimmten Temperaturprofils in einer Nähe einer Zentrumsregion des entblößten geschmolzenen Materials bei einer Temperatur unterhalb eines Schmelzpunkts des Quarzmaterials des Schmelztiegels zu veranlassen. In einem bestimmten Ausführungsbeispiel erzeugt das System ein geschmolzenes Material, das eine resultierende Phosphorspezies von 0,1 ppm und weniger umfasst, was gereinigtes Silizium ist.
|
