氟气生成装置

摘要

本发明提供一种氟气生成装置。能够防止将氟化氢吸附去除的精制装置的阻塞，稳定地供给高纯度的氟气。氟气生成装置的特征在于，具有利用吸附剂将由电解槽（1）的熔融盐汽化而混入自阳极（7）生成的氟气中的氟化氢吸附去除的精制装置（20），精制装置（20）包括：筒状构件，其供在电解槽（1）中产生的含有氟气的主产生气体通过；温度调节器，其调节上述筒状构件的温度；吸附剂保持件，其设在上述筒状构件内，上述吸附剂保持件设置为在上述筒状构件内形成用于确保上述主产生气体的流路的空隙。

主权项

一种氟气生成装置，该氟气生成装置通过将含有氟化氢的熔融盐中的氟化氢电解而生成氟气，其特征在于，上述氟气生成装置包括：电解槽，其通过在由含有氟化氢的熔融盐构成的电解液中电解氟化氢，在阳极侧产生以氟气作为主要成分的主产生气体，并且在阴极侧产生以氢气作为主要成分的副产生气体；精制装置，其利用吸附剂将混入在上述主产生气体中的氟化氢去除，上述精制装置包括：筒状构件，其供上述主产生气体通过；温度调节器，其调节上述筒状构件的温度；吸附剂保持件，其设置在上述筒状构件内，上述吸附剂保持件设置为在上述筒状构件内形成用于确保上述主产生气体的流路的空隙。