三轴集成硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。

主权项

一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座(300)；所述微加速度计结构键合在玻璃基座(300)上，玻璃基座(300)上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，其特征在于：所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计(100)和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计(200)；所述全解耦双轴硅微谐振式加速度计(100)由四个完全相同的线性谐振器子结构(101a、101b、101c、101d)和第一质量块(102)组成，四个线性谐振器子结构(101a、101b、101c、101d)上下左右对称设置；第一质量块(102)分别通过第一组解耦梁(106a1、106a2、106b1、106b2、106c1、106c2、106d1、106d2)与四个线性谐振器子结构(101a、101b、101c、101d)连接，四个线性谐振器子结构的第一横梁(103a)、第二横梁(103b)、第三横梁(103c)和第四横梁(103d)通过第二组解耦梁(105a1、105a2、105b1、105b2、105c1、105c2、105d1、105d2)与固定基座(104a1、104a2、104b1、104b2、104c1、104c2、104d1、104d2)连接；所述单轴硅微谐振式加速度计(200)由第二质量块(202)和两个扭转谐振器(201a、201b)组成；所述第二质量块(202)通过第一组扭杆(204a、204b)分别连接设于玻璃基座(300)上固定基座键合点上的第一锚点(203a)和第二锚点(203b)；所述两个扭转谐振器(201a、201b)分别由第二组扭杆(205a、205b)和第三组扭杆(206a、206b)、第一扭转质量块(211)和第二扭转质量块(212)、第一组电极(207a、207b、208a、208b、208c、208d)和第二组电极(209a、209b、210a、210b、210c、210d)组成；所述第二质量块(202)通过第二组扭杆(205a、205b)和第三组扭杆(206a、206b)分别与第一扭转质量块(211)和第二扭转质量块(212)相连，第一组电极(207a、207b、208a、208b、208c、208d)和第二组电极(209a、209b、210a、210b、210c、210d)分别设于第一扭转质量块(211)和第二扭转质量块(212)的下面。