| 发明名称 | 基于高电子能量的覆盖误差测量方法和系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基于高电子能量的覆盖误差测量方法、系统和计算机可读取介质。所述方法可以包括：获得或接收第一区域信息，所述第一区域信息表示检查物的第一层的第一区域；其中所述检查物进一步包含第二层，所述第二层包含第二区域；其中所述第二层是埋在所述第一层下面的；引导原始电子束的电子与所述第一区域相互作用；引导所述原始电子束的电子与所述第二区域相互作用；响应于从所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域散射或反射的电子，产生检测信号；以及基于所述检测信号和所述第一区域信息，来决定所述第一区域的至少一个特征与所述第二区域的至少一个特征之间的至少一个空间关系。 | ||
| 申请公布号 | CN102789997A | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201110229082.3 | 申请日期 | 2011.08.03 |
| 申请人 | 应用材料以色列公司 | 发明人 | L·摩西;A·欧弗;P·拉姆;U·尤拉姆;S·欧瑞 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01N23/203(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 一种用于评估覆盖的方法，包括：获得或接收第一区域信息，所述第一区域信息表示检查物的第一层的第一区域；其中所述检查物进一步包含第二层，所述第二层包含第二区域；其中所述第二层是埋在所述第一层下面的；引导原始电子束的电子与所述第一区域相互作用；引导所述原始电子束的电子与所述第二区域相互作用；响应于从所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域散射或反射的电子，产生检测信号；以及基于所述检测信号和所述第一区域信息来决定所述第一区域的至少一个特征与所述第二区域的至少一个特征之间的至少一个空间关系。 | ||
| 地址 | 以色列瑞哈佛特市 | ||