发明名称 在半导体上镀铜
摘要 使用单价镀铜浴对半导体晶片正面(front side)的导电轨或发射面(emitter side)进行金属化。通过电镀或LIP,铜选择性地沉积在导电轨上。导电轨可以通过使用常规的金属镀浴再次金属化。金属化的半导体可用于光伏器件的制造中。
申请公布号 CN102787338A 申请公布日期 2012.11.21
申请号 CN201210189836.1 申请日期 2012.04.19
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 G·哈姆;J·A·里斯;魏凌云
分类号 C25D7/12(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I 主分类号 C25D7/12(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 江磊
主权项 一种方法,该方法包括:a)提供一种包括正面,背面和PN结的半导体,所述正面包括具有底层的导电轨图案,所述背面包括金属接触件;b)使半导体与单价镀铜组合物接触;以及c)在导电轨的底层上镀覆铜层。
地址 美国马萨诸塞州