灯杯磁控溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺

摘要

本发明涉及灯杯反射膜的镀膜方法，公开了一种灯杯磁控溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺，其依次包括以下步骤：将待镀灯杯送入“大气真空过渡室”抽真空；再送入“低真空高真空过渡室”抽真空；再送入“真空室”的“首缓冲区”，充入氩气，抽真空至2.5～3.0×10-1帕；再至少一次通过装有铝靶的“真空室”的“镀膜区”，进行磁控溅射镀膜；达到所需厚度后，再送入“真空室”的“后缓冲区”；再送入“高真空低真空过渡室”，充入雾化的反射膜抗氧化材料，抽真空至5帕，停留3-4分钟，形成硬化保护层；再送入“真空大气过渡室”，完成镀膜。本发明使反射膜厚薄均匀且稳定，界面附着力高，反光率达到85%以上。

主权项

灯杯磁控溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺，其特征在于：依次包括以下步骤：灯杯磁控溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺，依次包括以下步骤：a.将待镀灯杯送入“大气真空过渡室”，抽真空至5帕；b.将待镀灯杯送入“低真空高真空过渡室”，抽真空至5×10‑2帕；c.将待镀灯杯送入“真空室”的“首缓冲区”，充入氩气，抽真空至2.5×10‑1帕～3.0×10‑1帕；d.将待镀灯杯至少一次通过上方装有两套80kw直流磁控溅射铝靶的“真空室”的“镀膜区”，进行磁控溅射镀反射膜；e.反射膜达到所需厚度后，将已镀反射膜灯杯送入“真空室”的“后缓冲区”；f.将已镀反射膜灯杯送入“高真空低真空过渡室”，充入雾化的反射膜抗氧化材料，抽真空至5帕，停留3‑4分钟，使雾化的反射膜抗氧化材料附着于反射膜表面形成硬化保护层；g.硬化保护层达到所需厚度后，将已镀保护层灯杯送入“真空大气过渡室”，充入大气，完成镀膜。