一种核磁共振射频微线圈及其制作方法

摘要

一种亥姆霍兹型核磁共振射频微线圈，包含上下两个互相平行的平面子线圈：顶层子线圈(2)和底层子线圈(3)，两个平面子线圈形状相同且间距大于等于子线圈的内半径；两个平面子线圈通过导线串联；盛放样品的微流道(1)位于顶层子线圈(2)和底层子线圈(3)之间，并和两个子线圈平行。内过孔(4)位于底层子线圈(3)和顶层子线圈(2)之间的连接处，外过孔(5)位于顶层子线圈(2)和第二焊盘(7)之间的连接处。本发明能够发射射频脉冲信号和(或)接收来自被测物体的自由感应衰减回波信号。本发明微线圈基于SU-8光刻胶，利用微电子机械系统工艺，在耐热玻璃衬底(12)上制作得到。本发明可用于纳升级生化样品的核磁共振检测。

主权项

一种核磁共振射频微线圈，其特征在于，所述射频微线圈包含上下两个互相平行的平面子线圈：顶层子线圈(2)和底层子线圈(3)；两个平面子线圈形状相同，两个平面子线圈之间的间距大于等于子线圈的内半径；两个平面子线圈通过导线串联在一起；盛放样品的微流道(1)位于顶层子线圈(2)和底层子线圈(3)之间，并与两个子线圈平行；内过孔(4)位于底层子线圈(3)和顶层子线圈(2)之间的连接处，外过孔(5)位于顶层子线圈(2)和第二焊盘(7)之间的连接处，第一焊盘(6)、底层子线圈(3)、内过孔(4)、顶层子线圈(2)、外过孔(5)和第二焊盘(7)顺序电连接。