| 发明名称 | 涂装膜的检查装置及检查方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及涂装膜的检查装置及检查方法。涂装膜的检查装置具有：发生太赫兹波的太赫兹波发生器；将所述太赫兹波向形成有膜的试料照射的照射光学系统；对在所述试料被反射的太赫兹波进行检测的太赫兹波检测器；控制部，其将检测出的太赫兹波的电场强度表示成时间轴的波形数据，从波形数据检测多个波峰，并基于波峰间的时间差算出膜厚。 | ||
| 申请公布号 | CN102770750A | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN201180010990.1 | 申请日期 | 2011.02.21 |
| 申请人 | 爱信精机株式会社 | 发明人 | 大竹秀幸;上原让;高柳顺 |
| 分类号 | G01N21/35(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王轶;李洋 |
| 主权项 | 一种涂装膜的检查装置，其特征在于，具有：发生太赫兹波的太赫兹波发生器；将所述太赫兹波向形成有膜的试料照射的照射光学系统；对在所述试料被反射的太赫兹波进行检测的太赫兹波检测器；以及控制部，其将检测出的太赫兹波的电场强度表示成时间轴的波形数据，从波形数据检测多个波峰，并基于波峰间的时间差算出膜厚。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||