发明名称 Method for determining the chemical composition of AlxGa1-xAsySb1-y layers
摘要
申请公布号 PL394717(A1) 申请公布日期 2012.11.05
申请号 PL20110394717 申请日期 2011.04.29
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 JASIK WLADYSLAWA AGATA;KUBACKA-TRACZYK JUSTYNA;SANKOWSKA IWONA;REGINSKI KAZIMIERZ
分类号 G01N33/20;G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01N33/20
代理机构 代理人
主权项
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