一种测量晶体管尺寸的装置

摘要

本发明公开了一种测量晶体管尺寸的装置，属于测量技术领域，包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序；有益效果是提高了工作效率，减少了误差。

主权项

一种测量晶体管尺寸的装置，其特征在于包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序。