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发明名称
摘要
申请公布号
JP5062934(B2)
申请公布日期
2012.10.31
申请号
JP20010537096
申请日期
2000.10.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/306;B08B3/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/3213
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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