| 发明名称 | 热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供热处理装置，其具备：反应管，其沿第一方向延伸；支承体，其收容于上述反应管内，并可沿着上述第一方向多层地支承多张基板；多条气体供给管，它们以沿着上述第一方向隔开间隔地排列的方式设置于上述反应管的侧面，并向上述反应管的内部供给气体；板状部件，其配置于上述反应管内的、上述多条气体供给管的开口端与收容于上述反应管内的上述支承体之间，并设置有与上述多条气体供给管分别对应的多个开口部；以及加热部，其配置于上述反应管的外侧。 | ||
| 申请公布号 | CN102751216A | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201210111840.6 | 申请日期 | 2012.04.16 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 高桥清彦;金子裕史 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李伟;舒艳君 |
| 主权项 | 一种热处理装置，其特征在于，具备：反应管，其沿第一方向延伸；支承体，其收容于所述反应管内，并能够沿着所述第一方向多层地支承多张基板；多条气体供给管，它们以沿着所述第一方向隔开间隔地排列的方式设置于所述反应管的侧面，并向所述反应管的内部供给气体；板状部件，其在所述反应管内，配置于所述多条气体供给管的开口端与收容于所述反应管内的所述支承体之间，并设置有与所述多条气体供给管分别对应的多个开口部；以及加热部，其配置于所述反应管的外侧。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||