一种多晶硅片生产装置及生产方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅片生产装置及生产方法，包括密封的金属腔体，金属腔体的外壁上设有进气管和出气管，具有石英内层、用于融化多晶硅料的坩埚设在金属腔体内一侧，围绕坩埚四周设有加热器，坩埚下部具有落料口，落料口下方设有将融化硅液传送出金属腔体的流延平台，流延平台下方设有将流延平台分割成四个过渡温度区的分区加热器。本发明可减少传统硅片生产过程中繁琐的工序步骤，大幅度降低生产成本，整过生产过程中污染源极少，有利于提高硅片质量，保证了太阳能电池片质量的稳定。

主权项

一种多晶硅片生产装置，包括密封的金属腔体（1），金属腔体（1）的外壁上设有进气管（2）和出气管（3），其特征是：具有石英内层、用于融化多晶硅料的坩埚（4）设在金属腔体（1）内一侧，围绕坩埚（4）四周设有加热器（5），坩埚（4）下部具有落料口（6），落料口（6）下方设有将融化硅液传送出金属腔体（1）的流延平台（7），流延平台（7）下方设有将流延平台（7）分割成四个过渡温度区的分区加热器（8）。