发明名称 MEMS switch with set and latch electrodes
摘要
申请公布号 EP1949165(B1) 申请公布日期 2012.10.24
申请号 EP20050823340 申请日期 2005.11.16
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 CHUI, CLARENCE
分类号 G02B26/00;B81B3/00;H01H59/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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