| 发明名称 |
Chraged particle beam device with an aperture unit and method for regulating a beam current in a charged particle beam device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2278607(A3) |
申请公布日期 |
2012.10.24 |
| 申请号 |
EP20100170421 |
申请日期 |
2010.07.22 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
PREIKSZAS, DIRK;ALBIEZ, MICHAEL |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J37/15;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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