溅镀机

摘要

本发明公开了一种溅镀机，该溅镀机适于承载一玻璃基板以对玻璃基板进行溅镀制程。此溅镀机包括一溅镀腔室、一阴极、一基板载台以及多个固定结构。溅镀腔室具有一开口。阴极位于溅镀腔室内，并且上述的开口暴露出阴极。基板载台包括一底座以及一承载盘。底座覆盖溅镀腔室的开口。承载盘位于底座与阴极之间。承载盘具有一粗糙面，此粗糙面面向阴极，并且粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间。固定结构自粗糙面突出，用以将玻璃基板固定于粗糙面与阴极之间。

主权项

一种溅镀机，适于承载一玻璃基板以对该玻璃基板进行溅镀制程，其特征在于，该溅镀机包括：一溅镀腔室，具有一开口；一阴极，位于该溅镀腔室内，并且该开口曝露出该阴极；一基板载台，包括：一底座，覆盖该开口；以及一承载盘，位于该底座与该阴极之间，该承载盘具有一粗糙面，该粗糙面面向该阴极，该粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间；以及多个固定结构，自该粗糙面突出，用以将该玻璃基板固定于该粗糙面与该阴极的间。