发明名称 |
膜转移框架 |
摘要 |
一种用于将膜固定在单件式框架上的系统包括具有带大于该膜的中心开放区域的形状的框架,该框架包括在框架上延伸到该开放区域中的多个指状物和定位在该多个指状物中的每一个的末端上的倒刺,其中该倒刺固定该膜。系统还包括末端执行器,该末端执行器包括第一多个真空管线开口和第二多个真空管线开口,其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口固定到该膜上并且用该第二多个真空管线开口固定到该框架上,其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口拾起该膜并且将该膜压到该框架上,其中将该膜压到该框架上将该膜固定在该倒刺上。 |
申请公布号 |
CN102738035A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201210085259.1 |
申请日期 |
2012.03.28 |
申请人 |
埃尔塔设备公司 |
发明人 |
J·S·弗兰克尔 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京市铸成律师事务所 11313 |
代理人 |
刘博 |
主权项 |
一种用于固定膜的单件式装置,其包括:框架,其具有带大于所述膜的中心开放区域的形状;多个指状物,其在所述框架上延伸到所述开放区域中;和倒刺,其定位在所述多个指状物中的每一个的末端上,其中所述倒刺固定所述膜。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |