| 发明名称 | 传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于隔离空间的封板。本实用新型还公开一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。本实用新型的传动缝隙模块结构简单，操作方便，气体隔离效果好，有效避免了不同井位之间的气体漂移。 | ||
| 申请公布号 | CN202492568U | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201220019429.1 | 申请日期 | 2012.01.17 |
| 申请人 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 | 发明人 | 周新元;常昱 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 胡美强;杨东明 |
| 主权项 | 一种传动缝隙模块，其特征在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于将两个溅射镀膜井位隔离的封板。 | ||
| 地址 | 201614 上海市松江区松江科技园区光华路328号3层 | ||