| 发明名称 | 氮化硅基坩埚 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种可重复使用的含氮化硅坩埚以及该坩埚用于结晶硅的用途，该坩埚包括以下的至少一种：浓度＜19ppmw的硼(B)或含硼化合物；以及浓度＜3.7ppmw的磷(P)或含磷化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102725443A | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201080059017.4 | 申请日期 | 2010.12.22 |
| 申请人 | 圣戈班工业陶瓷罗登塔尔有限责任公司 | 发明人 | H·索尔海姆;A·索尔海姆;E·范德朔特布鲁格 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B23/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 吕彩霞;杨思捷 |
| 主权项 | 一种用于结晶硅的可重复使用的含氮化硅坩埚，其特征在于，所述坩埚包含以下的至少一种：浓度＜19ppmw的硼或含硼化合物；以及还包含下面的至少一种：浓度＜3.7ppmw的磷或含磷化合物。 | ||
| 地址 | 德国罗登塔尔 | ||