一种磁控靶水冷罩

摘要

本实用新型涉及机械生产设备技术领域，具体涉及一种磁控靶水冷罩。本装置特征在于：在所述的安装座上设有磁控靶挡板，在磁控靶挡板与磁控靶相对的内壁上设有冷却水管；所述的冷却水管沿磁控靶挡板内壁均匀排列，该冷却水管上设有进水口、出水口；所述的进水口、出水口设在磁控靶挡板的外侧。本实用新型可有效降低靶周围冷却降低温度，从而提高产品的合格率，而且本装置结构简单，实用性强、便于生产制造。

主权项

一种真空镀膜机磁控靶水冷罩，磁控靶（2）安装组装在磁控靶安装座（1）上，其特征在于：在所述的安装座（1）上设有磁控靶挡板（3），在磁控靶挡板（3）与磁控靶（2）相对的内壁上设有冷却水管（5）；所述的冷却水管（5）沿磁控靶挡板（3）内壁均匀排列，该冷却水管（5）上设有进水口（51）、出水口（52）；所述的进水口（51）、出水口（52）设在磁控靶挡板（3）的外侧。