| 主权项 |
一种真空泵，所述真空泵(100)包括：Holweck分子拖曳泵送机构(112)；位于所述Holweck分子拖曳泵送机构下游的再生泵送机构(114)，其中，所述Holweck分子拖曳泵送机构的转子元件(116)包围所述再生泵送机构(114)的转子元件(122)；且其中，所述Holweck分子拖曳泵送机构的所述转子元件(116)包括缸，所述缸由碳纤维材料形成，所述缸被安装成与所述再生泵送机构(114)的所述转子元件(122)一起转动；所述Holweck分子拖曳泵送机构的所述转子元件(116)和所述再生泵送机构的所述转子元件(122)位于所述真空泵的公共转子(120)上；所述公共转子(120)与安装在所述真空泵的驱动轴(104)上的叶轮(145)形成整体，且所述公共转子由基本上垂直于所述真空泵的所述驱动轴的盘提供；所述再生泵送机构的所述转子元件(122)包括至少两个系列的叶片，所述至少两个系列的叶片定位成以同心环形阵列与所述公共转子(120)成一体并以环形阵列定位在所述公共转子的一侧，使得所述至少两个系列的叶片的轴向位置大致相同；以及所述Holweck分子拖曳泵送机构的所述转子元件(116)与所述再生泵送机构的所述转子元件(122)安装在所述公共转子的相同一侧，其中，所述Holweck分子拖曳泵送机构的所述转子元件(116)的端部和所述再生泵送机构的所述转子元件(122)的端部位于所述公共转子的相同的侧面上，使得所述Holweck分子拖曳泵送机构的所述转子元件(116)和所述再生泵送机构的所述转子元件(122)从所述公共转子的所述相同的侧面轴向上平行延伸出。 |
