发明名称 通过硼和磷的共扩散制造晶体硅太阳能电池的方法
摘要 本发明涉及用于制造晶体硅太阳能电池的方法,其包括:提供晶体硅基底,其具有第一面及与所述第一面相反的第二面;使磷预扩散进入所述基底的所述第一面,以产生具有初始深度的磷扩散层;封闭所述基底的所述第一面;将所述基底的所述第二面暴露至硼扩散源;加热所述基底至一定温度一段时间,从而使硼扩散进入所述基底的所述第二面,同时使所述磷进一步扩散进入所述基底。
申请公布号 CN101919070B 申请公布日期 2012.10.10
申请号 CN200880124127.7 申请日期 2008.11.13
申请人 荷兰能源建设基金中心 发明人 V·D·米哈伊利奇;Y·科马特苏
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 过晓东
主权项 用于制造晶体硅太阳能电池的方法,其包括:‑提供晶体硅基底,其具有第一面及与所述第一面相反的第二面;‑使磷预扩散进入所述基底的所述第一面,以产生具有初始深度的磷扩散层;‑封闭所述基底的所述第一面;‑将所述基底的所述第二面暴露至硼扩散源;‑加热所述基底至一定温度一段时间,从而使硼扩散进入所述基底的所述第二面,同时使所述磷进一步扩散进入所述基底。
地址 荷兰佩滕
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