掺杂硼的精制硅的制造方法

摘要

本发明提供一种掺杂硼的精制硅的制造方法，其是用金属铝还原卤化硅而得到还原硅，并从该还原硅、以较少的能量制造掺杂硼的硅(精制硅)的方法。本发明的制造方法的特征在于，用金属铝还原卤化硅而得到还原硅，加热熔融得到的还原硅，掺杂硼，然后在铸模内，在一个方向上设置树脂温度梯度的状态下使其凝结，由此进行精制。优选在酸洗还原硅之后加热熔融，掺杂硼。在减压下加热熔融还原硅之后，掺杂硼。在加热熔融还原硅之后使其在一个方向上凝结，精制，然后加热熔融，掺杂硼。

主权项

一种精制硅的制造方法，其中，具有：用金属铝还原卤化硅而制造还原硅的步骤，加热熔融所述还原硅的步骤，通过向所述熔融的还原硅掺杂硼而生成含有硅、铝及硼的混合熔融物的步骤，在铸模内，在一个方向上设置温度梯度的状态下，使所述混合熔融物凝结的步骤，和在得到的硅方向凝结物中切除粗硅区域的步骤。