| 发明名称 |
REACTOR AND METHOD FOR NITRIDE-BASED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2051286(B1) |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
| 申请号 |
EP20070792441 |
申请日期 |
2007.08.07 |
| 申请人 |
NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE |
发明人 |
SAKUMA, YOSHIKI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/458;C30B25/08;C30B25/12;C30B29/38;C30B29/40;C30B35/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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