真空镀膜装置的行星转动支架

摘要

本实用新型公开一种真空镀膜装置的行星转动支架，在一大圆环周边设有多个行星轮，在大圆环内设有主动轮，主动轮外缘的齿与多个行星轮的齿啮合，中心有接电器，接电器两侧有定位装置，主动轮上方用多根立柱支撑一圆盘，圆盘四周有多个短套筒，套筒内插有被镀工件挂杆，挂杆底部与行星轮连接，当大圆环转动，并同时带动多个行星轮与大圆环同步转动，多个行星轮与主动轮啮合而自转，同时带动与其连接的挂杆转动，即被镀工件围绕大圆盘中心公转并围绕行星轮中心自转。本实用新型的优点是，使被镀工件在镀膜过程中始终保持公转和自转，保证被镀工件镀层厚度和均匀性。

主权项

一种真空镀膜装置的行星转动支架，其特征在于，在一大圆环周边设有多个行星轮，在大圆环内设有主动轮，主动轮外缘的齿与多个行星轮的齿啮合，中心有接电器，接电器两侧有定位装置，主动轮上方用多根立柱支撑一圆盘，圆盘四周有多个短套筒，套筒内插有被镀工件挂杆，挂杆底部与行星轮连接，当大圆环转动，并同时带动多个行星轮与大圆环同步转动，多个行星轮与主动轮啮合而自转，同时带动与其连接的挂杆转动，即被镀工件围绕大圆盘中心公转并围绕行星轮中心自转。