| 发明名称 | 水平电镀槽槽盖 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种水平电镀槽槽盖，其特征在于，包括主盖，所述主盖设置有第一通孔；还包括副盖，所述副盖可拆卸地设置于第一通孔内。本实用新型中的水平电镀槽槽盖，可以利用偏心圆柱连接主盖与副盖，且利用偏心圆柱压紧副盖，副盖上的O型圈压靠在晶圆边缘，因此本实用新型可稳固地固定晶圆。本实用新型将槽盖分为两部分，结构简单，使用方便。 | ||
| 申请公布号 | CN202482461U | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201120573825.4 | 申请日期 | 2011.12.31 |
| 申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 王振荣;刘红兵;程鹏 |
| 分类号 | C25D7/12(2006.01)I;C25D17/02(2006.01)I | 主分类号 | C25D7/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 水平电镀槽槽盖，其特征在于，包括主盖，所述主盖设置有第一通孔；还包括副盖，所述副盖可拆卸地设置于第一通孔内。 | ||
| 地址 | 201616 上海市松江区文合路1268号 | ||