| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem Substrat (12) mit mindestens einer in Bezug zu dem Substrat (12) fest angeordneten Stator-Elektrode (22, 24), einer beweglichen Masse (14) mit mindestens einer in Bezug zu der beweglichen Masse fest angeordneten Aktor-Elektrode (20), und mindestens einer Feder (42), über welche die bewegliche Masse (14) verstellbar ist, wobei die bewegliche Masse (14) mittels mindestens eines Trenngrabens (16, 18) aus dem Substrat (12) herausstrukturiert ist, mindestens eine äußere Stator-Elektrode (22) zumindest einen Abschnitt des mindestens einen Trenngrabens (16, 18) und/oder der beweglichen Masse (14) überspannt, die mindestens eine Aktor-Elektrode (20) zwischen die mindestens eine äußere Stator-Elektrode (22) und das Substrat (12) hineinragt, und mindestens eine innere Stator-Elektrode (24) zwischen die mindestens eine Aktor-Elektrode (20) und das Substrat (12) hineinragt. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.</p> |
