形成穿透和/或反射图像的高处理量检测系统及其方法

摘要

本发明涉及一种以高处理量检测一物体(8)(例如标线板或光掩模)的检测系统(10)及方法，该系统与方法可形成并感应穿透和/或反射短周期光束(short duration beams)(15、17)。根据本发明一具体实施例可同时形成及感应该穿透与反射短周期光束，从而同时提供一反射图像与一穿透图像。该反射与穿透短周期发光光束是操作于频域(frequency domain)，或个别极化以使其导引至适当区域感应器(32、34)。根据本发明另一态样，本系统可改变一短周期发光光束的操作，以选择性地导引该短周期光束至个别区域感应器，从而增加该检测系统(10)的处理量。该系统(10)及方法可简易比较一区域(AR 9)的穿透及反射图像，并因此消除在该图像间执行登记(registration)的需求。

主权项

一种光学地检测一物体以指示所述物体状态的方法，所述方法至少包含下列步骤：(a)由所述物体的一区域的一表面反射一第一发光光束，以形成一短周期反射光束，并同时使一第二发光光束穿透所述物体包含所述第一表面与一第二表面的区域，以提供一短周期穿透光束；(b)感应所述短周期反射光束与所述短周期穿透光束，并响应形成多个可反应所述物体的所述区域的一状态的输出信号；周期性地重复所述步骤(a)与(b)，直到所述物体的一预先定义部分被完全照射为止；及处理所述输出信号，以提供所述物体的预先定义部分的状态的一指示。