发明名称 基于图像处理的干涉法测厚仪
摘要 本实用新型涉及一种厚度测量设备,具体地说是一种结构合理、使用方便、测量准确的基于图像处理的干涉法测厚仪,由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成,其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接,计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接,与现有技术相比,具有结构合理、使用方便、测量准确等显著的优点。
申请公布号 CN202471014U 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201220072925.3 申请日期 2012.03.01
申请人 赵多 发明人 赵多
分类号 G01B11/06(2006.01)I 主分类号 G01B11/06(2006.01)I
代理机构 威海科星专利事务所 37202 代理人 于涛
主权项 一种基于图像处理的干涉法测厚仪,由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成,其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接,计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接。
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