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发明名称 SUBSTRATE CLEANING METHOD AND SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101187104(B1) 申请公布日期 2012.09.28
申请号 KR20060119491 申请日期 2006.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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