主权项 |
1.一种平板式静电微执行器的控制方法,其特征在于:包括1)测出平板式静电微执行器的可动极板与固定极板之间的间距并将该值转换成数字量l;2)计算第一变量<img file="FSA00000724681300011.GIF" wi="146" he="134" />其中l<sub>0</sub>为可动极板不动时距离固定极板的间距;构建系统状态x<sub>2</sub>,<img file="FSA00000724681300012.GIF" wi="375" he="123" />其中ε为固定极板之间的介电常数,m为可动极板的质量,A为面积,σ和β为比例因子,τ=σt,t是时间;采用非线性映射方法将上述第一变量x<sub>1</sub>、系统状态x<sub>2</sub>以及预定参考量y<sub>r</sub>映射到实数空间使它们转变成无约束变量<img file="FSA00000724681300013.GIF" wi="209" he="53" />和<img file="FSA00000724681300014.GIF" wi="96" he="64" />其中<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>x</mi><mn>1</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>=</mo><mi>log</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><msub><mi>k</mi><mi>c</mi></msub><mo>+</mo><msub><mi>x</mi><mn>1</mn></msub></mrow><mrow><msub><mi>k</mi><mi>c</mi></msub><mo>-</mo><msub><mi>x</mi><mn>1</mn></msub></mrow></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0002"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>x</mi><mn>2</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>=</mo><msub><mi>x</mi><mn>2</mn></msub><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0003"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>y</mi><mi>r</mi><mo>*</mo></msubsup><mo>=</mo><mi>log</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><msub><mi>k</mi><mi>c</mi></msub><mo>+</mo><msub><mi>y</mi><mi>r</mi></msub></mrow><mrow><msub><mi>k</mi><mi>c</mi></msub><mo>-</mo><msub><mi>y</mi><mi>r</mi></msub></mrow></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>活动极板的约束区间Ω<sub>c</sub>={-k<sub>c</sub>,k<sub>c</sub>}内。3)计算虚拟控制量α<sub>1</sub>。4)计算当前未知参数θ的估计值<img file="FSA00000724681300018.GIF" wi="70" he="73" />并对该未知参数的估计值进行自适应调节,计算出调节参数<img file="FSA00000724681300019.GIF" wi="59" he="78" />5)反推计算自适应控制器的控制输出<img file="FSA000007246813000110.GIF" wi="105" he="55" /><maths num="0004"><![CDATA[<math><mrow><mi>u</mi><mo>=</mo><mo>-</mo><msub><mi>g</mi><mn>1</mn></msub><msubsup><mi>z</mi><mn>1</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>-</mo><msub><mi>c</mi><mn>2</mn></msub><msubsup><mi>z</mi><mn>2</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>-</mo><msup><mover><mi>θ</mi><mo>^</mo></mover><mi>T</mi></msup><msub><mi>w</mi><mn>2</mn></msub><mo>+</mo><mfrac><msub><mrow><mo>∂</mo><mi>α</mi></mrow><mn>1</mn></msub><mrow><mo>∂</mo><msubsup><mi>x</mi><mn>1</mn><mo>*</mo></msubsup></mrow></mfrac><msub><mi>g</mi><mn>1</mn></msub><msubsup><mi>x</mi><mn>2</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>+</mo><munderover><mi>Σ</mi><mrow><mi>k</mi><mo>=</mo><mn>0</mn></mrow><mn>1</mn></munderover><mfrac><msub><mrow><mo>∂</mo><mi>α</mi></mrow><mn>1</mn></msub><mrow><mo>∂</mo><msup><mrow><mo>(</mo><msubsup><mi>y</mi><mi>r</mi><mo>*</mo></msubsup><mo>)</mo></mrow><mrow><mo>(</mo><mi>k</mi><mo>)</mo></mrow></msup></mrow></mfrac><msup><mrow><mo>(</mo><msubsup><mi>y</mi><mi>r</mi><mo>*</mo></msubsup><mo>)</mo></mrow><mrow><mo>(</mo><mi>k</mi><mo>+</mo><mn>1</mn><mo>)</mo></mrow></msup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>其中c<sub>2</sub>>0也是设计参数,g<sub>1</sub>为映射时产生的已知非线性函数,<maths num="0005"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>z</mi><mn>1</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>=</mo><msubsup><mi>x</mi><mn>1</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>-</mo><msubsup><mi>y</mi><mi>r</mi><mo>*</mo></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0006"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>z</mi><mn>2</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>=</mo><msubsup><mi>x</mi><mn>2</mn><mo>*</mo></msubsup><mo>-</mo><msub><mi>α</mi><mn>1</mn></msub><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0007"><![CDATA[<math><mrow><msub><mi>w</mi><mn>2</mn></msub><mo>=</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0008"><![CDATA[<math><mrow><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><mfrac><mn>1</mn><mrow><mn>1</mn><mo>-</mo><msubsup><mi>x</mi><mn>1</mn><mn>3</mn></msubsup></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mn>1</mn><mrow><mn>1</mn><mo>+</mo><msubsup><mi>x</mi><mn>1</mn><mn>3</mn></msubsup></mrow></mfrac><mo>)</mo></mrow><msub><mi>x</mi><mrow><mn>2</mn><mo>,</mo></mrow></msub><mo>-</mo><msub><mi>x</mi><mn>1</mn></msub><mo>.</mo></mrow></math>]]></maths>6)将所述控制输出转换成模拟信号控制所述静电微驱动器。 |