| 发明名称 | 氮化物结晶的制造方法、制造容器和构件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种氮化物结晶的制造方法，其能够抑制在晶种上以外的部分析出氮化物结晶，提高在晶种上生长的氮化镓单晶的生产效率。在装有含有矿化剂的溶液的容器内通过氨热法制造氮化物结晶时，在容器和设置于容器内的构件的表面中，与溶液接触的部分的至少一部分由含有选自钽（Ta）、钨（W）和钛（Ti）中的一种以上原子的金属或者合金构成，并且，表面粗糙度（Ra）小于1.80μm。 | ||
| 申请公布号 | CN102695823A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201080053298.2 | 申请日期 | 2010.11.25 |
| 申请人 | 三菱化学株式会社;国立大学法人东北大学;株式会社日本制钢所 | 发明人 | 三川丰;清见真纪子;镜谷勇二;石黑彻;山村美彦 |
| 分类号 | C30B29/38(2006.01)I;C30B7/10(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 苗堃;赵曦 |
| 主权项 | 一种氮化物结晶的制造方法，是在装有含有矿化剂的溶液的容器内通过氨热法制造氮化物结晶的方法，其特征在于，在该容器和设置于该容器内的构件的表面中，与该溶液接触的部分的至少一部分由含有选自钽Ta、钨W和钛Ti中的1种以上原子的金属或者合金构成，并且，表面粗糙度Ra小于1.80μm。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||