| 发明名称 | 一种转角测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种转角测量装置，应用于被测目标的转角和转速测量，包括偏心装置和测量系统，所述偏心装置有反射膜，固定安装在所述被测目标上，与所述被测目标同轴旋转；所述测量系统位于所述偏心装置一侧，通过测量所述偏心装置靠近所述测量系统一侧的位移计算得到所述被测目标的转角或转速。本发明的转角测量装置结构简单，安装方便快捷，通过测量所述偏心装置靠近所述测量系统一侧的直线位移来实现被测目标转角的间接测量，数据处理量小和算法简单，实现了连续的360°转角测量和高速主轴的转速测量。 | ||
| 申请公布号 | CN102692195A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201110068311.8 | 申请日期 | 2011.03.21 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 任胜伟;肖鹏飞;张志平;张晓文;池峰 |
| 分类号 | G01B11/26(2006.01)I;G01B7/30(2006.01)I;G01P3/36(2006.01)I;G01P3/44(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种转角测量装置，应用于被测目标的转角和转速测量，其特征在于，包括偏心装置和测量系统，所述偏心装置侧面镀有反射膜，固定安装在所述被测目标上，与所述被测目标同轴旋转；所述测量系统位于所述偏心装置一侧，通过测量所述偏心装置靠近所述测量系统一侧的位移计算得到所述被测目标的转角或转速。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||