发明名称 |
带有复合钝化膜的大功率器件 |
摘要 |
一种带有复合钝化膜的大功率器件,在大功率器件的PN结表面,从内至外依次为多晶硅薄膜(1)、掺氧多晶硅薄膜SIPOS(2)、玻璃(3)和氧化硅薄膜(4)。本实用新型的带有复合钝化膜的大功率器件,相比于传统的PN结表面单一玻璃钝化防护层的结构,采用PN结表面多层防护结构,由于其对于界面所有电荷具有自动调节、补偿、屏蔽、消除作用,彻底消除了击穿电压突变现象,使器件在高温、高湿、强电场等恶劣条件下也能长时间工作;并且相比传统的PN结表面玻璃钝化层可提高PN结的击穿电压。 |
申请公布号 |
CN202454547U |
申请公布日期 |
2012.09.26 |
申请号 |
CN201220066058.2 |
申请日期 |
2012.02.27 |
申请人 |
江苏东光微电子股份有限公司;宜兴市东晨电子科技有限公司 |
发明人 |
许志峰 |
分类号 |
H01L23/29(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/29(2006.01)I |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 32218 |
代理人 |
夏平 |
主权项 |
一种带有复合钝化膜的大功率器件,其特征是在大功率器件的PN结表面,从内至外依次为多晶硅薄膜(1)、掺氧多晶硅薄膜SIPOS(2)、玻璃(3)和氧化硅薄膜(4)。 |
地址 |
214205 江苏省无锡市宜兴新街百合工业园 |