发明名称 带有复合钝化膜的大功率器件
摘要 一种带有复合钝化膜的大功率器件,在大功率器件的PN结表面,从内至外依次为多晶硅薄膜(1)、掺氧多晶硅薄膜SIPOS(2)、玻璃(3)和氧化硅薄膜(4)。本实用新型的带有复合钝化膜的大功率器件,相比于传统的PN结表面单一玻璃钝化防护层的结构,采用PN结表面多层防护结构,由于其对于界面所有电荷具有自动调节、补偿、屏蔽、消除作用,彻底消除了击穿电压突变现象,使器件在高温、高湿、强电场等恶劣条件下也能长时间工作;并且相比传统的PN结表面玻璃钝化层可提高PN结的击穿电压。
申请公布号 CN202454547U 申请公布日期 2012.09.26
申请号 CN201220066058.2 申请日期 2012.02.27
申请人 江苏东光微电子股份有限公司;宜兴市东晨电子科技有限公司 发明人 许志峰
分类号 H01L23/29(2006.01)I 主分类号 H01L23/29(2006.01)I
代理机构 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人 夏平
主权项 一种带有复合钝化膜的大功率器件,其特征是在大功率器件的PN结表面,从内至外依次为多晶硅薄膜(1)、掺氧多晶硅薄膜SIPOS(2)、玻璃(3)和氧化硅薄膜(4)。
地址 214205 江苏省无锡市宜兴新街百合工业园
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