发明名称 | 非晶氧化物和场效应晶体管 | ||
摘要 | 一种非晶氧化物至少包含:选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素;和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子%且小于等于5原子%。 | ||
申请公布号 | CN101911304B | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
申请号 | CN200880123969.0 | 申请日期 | 2008.12.25 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 板垣奈穗;A·戈雅尔;岩崎达哉 |
分类号 | H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 康建忠 |
主权项 | 一种场效应晶体管,所述场效应晶体管至少包括:漏极电极;源极电极;栅极电极;活性层;和栅极绝缘膜,其中,所述活性层包含非晶氧化物,所述非晶氧化物至少包含:选自由In、Zn和Sn构成的组中的至少一种元素;和Mo,其中,所述非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子%且小于等于5原子%。 | ||
地址 | 日本东京 |