发明名称 非晶氧化物和场效应晶体管
摘要 一种非晶氧化物至少包含:选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素;和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子%且小于等于5原子%。
申请公布号 CN101911304B 申请公布日期 2012.09.26
申请号 CN200880123969.0 申请日期 2008.12.25
申请人 佳能株式会社 发明人 板垣奈穗;A·戈雅尔;岩崎达哉
分类号 H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 康建忠
主权项 一种场效应晶体管,所述场效应晶体管至少包括:漏极电极;源极电极;栅极电极;活性层;和栅极绝缘膜,其中,所述活性层包含非晶氧化物,所述非晶氧化物至少包含:选自由In、Zn和Sn构成的组中的至少一种元素;和Mo,其中,所述非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子%且小于等于5原子%。
地址 日本东京
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