| 发明名称 |
一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂(FNS酸腐蚀液) |
| 摘要 |
本发明属于多晶硅太阳电池制造领域，涉及多晶硅太阳电池表面织构技术。按照本发明提供的腐蚀剂，腐蚀剂用酸腐蚀液制成，该腐蚀液是氢氟酸和硝酸及硫酸组成，HNO3作为氧化剂成分，在硅片表面形成SiO2层，HF作为络合剂去除SiO2层。H2SO4作为腐蚀液的催化剂和缓冲剂来控制腐蚀速率，并不影响表面织构。各组分浓度为：氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。本发明提供的该腐蚀剂具有成本低，污染小，易操作，腐蚀所需时间短，宜于大规模生产中应用等特点。 |
| 申请公布号 |
CN102677178A |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
| 申请号 |
CN201110062447.8 |
申请日期 |
2011.03.16 |
| 申请人 |
张昆;刘彩池;渠朝义 |
发明人 |
张昆;刘彩池;渠朝义 |
| 分类号 |
C30B33/10(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;C23F1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂，其特征在于该腐蚀剂是由氢氟酸、硝酸和硫酸组成的混合溶液，其中，氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。腐蚀温度为5到30摄氏度，腐蚀时间1分钟到15分钟。 |
| 地址 |
300130 天津市红桥区丁字沽光荣道8号 |
