压电振子双侧驱动流体的串联泵

摘要

本发明涉及一种压电振子双侧驱动流体的串联泵，属于流体传输与控制领域。上、下泵体通过螺钉连接，两个泵体的泵腔间压接有2-20个压电振子，所述泵腔进口处、及下泵体阀腔进口处粘有阀片；上泵体的外部进口与其相邻泵腔连通，两相邻泵腔之间、及内部出口与相邻泵腔间分别通过腔间流道连通，再与压电振子构成串联泵I；下泵体的内部进口与相邻泵腔间、两相邻泵腔间、以及阀腔与相邻泵腔间分别通过腔间流道连通，再与压电振子构成串联泵II；串联泵I的内部出口与泵II的内部进口连通，泵II的阀腔与上泵体上的外部出口连通。优势：采用多个两侧同时驱动流体的压电振子构成串联压电泵，流量大、压力及能量效率高，适于构造系统背压较高的压电液压驱动。

主权项

一种压电振子双侧驱动流体的串联泵，其特征在于：上泵体与下泵体通过螺钉连接；2‑20个压电振子通过密封圈压接在上泵体的泵腔与下泵体的泵腔之间，所述压电振子由金属基板和压电晶片粘接而成；在上泵体的泵腔的进口处、以及下泵体的泵腔和阀腔的进口处均粘接有阀片；在所述上泵体上，外部进口与其相邻泵腔连通，两个相邻泵腔之间、以及内部出口与相邻的泵腔之间分别通过腔间流道连通，所述位于上泵体上的外部进口、串联泵腔、内部出口、以及位于所述泵腔内的阀片与压电振子共同构成串联泵I；在所述的下泵体上，内部进口与其相邻泵腔之间、两个相邻泵腔之间、以及阀腔与相邻的泵腔之间分别通过腔间流道连通，所述位于下泵体上的内部进口、串联泵腔、阀腔、以及位于所述泵腔和阀腔内的阀片与压电振子共同构成串联泵II；所述串联泵I的内部出口和串联泵II的内部进口连通，所述串联泵II的阀腔与位于上泵体上的外部出口连通。