以离子化气体流覆盖宽广面积

摘要

本发明披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管，其用于接收离子化的气体流，及多个出口，其将气体流划分成多个中和气体流而引导向分别的多个目标区域。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分别的多个目标区域的方法包括以下步骤：接收离子化的气体流，将离子化的气体流划分成多个中和流，及将中和流引导向分别的目标区域。通过中和流的离子流速的差异达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。

主权项

一种与游离器一起使用的离子传递歧管，该游离器的类型为将非离子化的气体流转变成离子化的气体流，包含：具有至少一个入口的气体传输通道，该至少一个入口从该游离器接收该离子化的气体流；至少第一及第二出口，其将流过该气体传输通道的该离子化的气体流划分成第一及第二中和气体流而引导向宽广面积目标的分别的第一及第二区域，其中离开该第一出口的该离子流速比离开该第二出口的该离子流速更高，其中该第一区域与该第一出口的距离比该第二区域与该第二出口的距离更远，且其中到达该第一及第二区域的这些离子的分配至少大致相等。